扫描电子显微镜（含能谱仪）

仪器名称	扫描电子显微镜（含能谱仪） 状态【运行】
英文名称	Scanning Electron Microscopy（SEM）
规格/型号	*/JSM-6610LV，incax-act
生产厂商	日本电子株式会，英国牛津
国别	日本
性能指标	加速电压：0.3kV～30kV 分辨率：3.0nm（30kV）；8.0nm（3kV）；15nm（1kV） 样品台旋转范围：0～360° 放大倍数：5～300，000倍 样品台移动范围：X－Y轴方向为0～100mm；Z轴方向为0～50mm 样品台倾斜范围：－10°～90°
主要应用	广泛应用于医学、生物学、化工、地质、金属、陶瓷、半导体、纳米材料等各领域。用于纳米材料的形貌与尺寸观察、金属材料断口的分析、材料的原始表面无机及有机材料的成分鉴定、材料表面微区成分的定性和定量分析、材料表面做元素的面、线、点分布分析。
样品要求	拒绝接受磁性、放射性、挥发性、不符合生物安全标准及不耐电子束轰击类样品。